سیستمهای خلاء دارای مشکل نشتی نمیتوانند به سطح خلاء مورد انتظار دست پیدا کنند. این مشکل میتواند ناشی از منابع نشت حقیقی یا مجازی باشد، که منجر به به کارگیری روشهای تشخیص نشتی و راهحلهای متفاوت، بسته به سطح خلاء عملیاتی، میشود.
تمام دستگاههای لایهنشانی شرکت پوششهای نانوساختار حاوی یک محفظه خلاء برای انجام فرآیند پوششدهی هستند. با رعایت نکات ایمنی در استفاده از سیستمهای لایه نشانی در خلاء پایین یا بالا میتوان از مشکلات نشت در سیستمهای خلاء جلوگیری نمود.