سنسور فشار سیلیکون دیفیوز بر اساس اصل مقاومت در برابر کرنش عمل می‌کند. از یک دیافراگم با جنس فولاد ضد زنگ یا سرامیک تشکیل شده‌است که مستقیما در معرض فشار محیط اندازه‌گیری شده قرار می‌گیرد. هنگامی که فشار روی دیافراگم وارد می‌شود، تغییر شکل یا جابجایی جزئی متناسب با فشار ایجاد می‌شود. این تغییر شکل باعث تغییر در مقدار مقاومت سنسور می‌گردد.
این سنسور فشار مجهز به مدار الکترونیکی است که این تغییر مقاومت را تشخیص داده و اندازه‌گیری می‌کند. سپس سیگنال شناسایی شده را به یک سیگنال اندازه‌گیری استاندارد مطابق با فشار اعمال شده تبدیل می‌کند. عنصر حساس سنسور از سیلیکون یاقوت کبود ساخته شده‌است، یک ماده نیمه هادی که به دلیل ویژگی‌های اندازه‌گیری عالی‌اش شناخته شده‌است.
سنسور فشار در صنایع مختلفی کاربرد دارد. معمولاً در فرآیندهای صنعتی، خودروسازی، فناوری هوافضا و سیستم‌های HVAC (گرمایش، تهویه و تهویه مطبوع)، آب و فاضلاب، نیروگاه و پتروشیمی، غذایی و نوشیدنی (بخصوص مخازن ذخیره‌سازی مایعات) و نفت و گاز استفاده می‌شود. این سنسورها قادر به اندازه‌گیری دقیق طیف وسیعی از فشارها و ارائه عملکرد قابل اعتماد و پایدار هستند.
یک سنسور فشار خازنی از یک جزء حسگر خازنی متغیر برای اندازه‌گیری فشار استفاده می‌کند. سنسور به عنوان یک جزء بسته طراحی شده‌است و فرآیند یا اختلاف فشار از طریق یک دیافراگم ایزوله و یک مایع پرکننده مانند روغن سیلیکون به دیافراگم سنسور فشار منتقل می‌شود. فشار باعث جابجایی دیافراگم و در نتیجه تغییر در ظرفیت بین دیافراگم سنسور و دو صفحه خازن می‌شود.
اجزای الکترونیکی درون سنسور این اختلاف ظرفیت را به یک سیگنال خروجی الکتریکی تبدیل می‌کنند. معمولا از یک سیستم دو سیمه استفاده می‌شود و سیگنال خروجی معمولا به عنوان یک سیگنال 4 تا 20 میلی‌آمپر نمایش داده می‌شود. سنسور فشار خازنی دقت، پایداری و محدوده اندازه‌گیری وسیعی را ارائه می‌دهد.
این سنسورها به‌طور گسترده در صنایعی مانند تولید، نفت و گاز، فرآوری شیمیایی و تجهیزات پزشکی استفاده می‌شوند. آن‌ها برای اندازه‌گیری فشارهای استاتیکی و دینامیکی مناسب هستند و می‌توانند داده‌های قابل اعتمادی را برای سیستم‌های کنترل و نظارت ارائه دهند.
سنسور فشار سرامیکی بر اساس یک دیافراگم سرامیکی مقاوم در برابر خوردگی عمل می‌کند. برخلاف سنسورهای فشار سیلیکون دیفیوز و خازنی، به انتقال مایع متکی نیست. فشار به‌طور مستقیم به سطح جلوی دیافراگم سرامیکی اعمال می‌شود و باعث می‌شود که تغییر شکل جزیی پیدا کند.
این سنسور دارای یک مقاومت فیلم ضخیم است که در پشت دیافراگم سرامیکی چاپ شده‌است، که پیکربندی پل وتستون را تشکیل می‌دهد. اثر پیزومقاومتی وریستور در داخل پل یک سیگنال ولتاژ بسیار خطی تولید می‌کند که متناسب با فشار اعمال شده و ولتاژ تحریک است. سیگنال خروجی را می‌توان بسته به محدوده فشار، با مقادیر استاندارد متفاوتی مانند 2 / 3 / 3.3 میلی‌ولت به ولت کالیبره کرد. این باعث می‌شود با سنسورهای استرین گیج سازگار باشد.
سنسورهای فشار سرامیکی به دلیل پایداری دمایی بالا و پایداری زمانی معروف هستند. آن‌ها را می‌توان از طریق کالیبراسیون لیزری کالیبره کرد و امکان اندازه‌گیری دقیق را در محیط های چالش‌برانگیز فراهم کرد. این سنسورها می‌توانند مستقیما با سیال‌های مختلف در تماس باشند و در صنایعی مانند خودروسازی، اتوماسیون صنعتی، هیدرولیک و کنترل فرآیند کاربرد پیدا کنند.
به‌طور خلاصه، سنسورهای فشار سیلیکون دیفیوز، خازنی و سرامیکی همگی بر اساس اصول مختلفی کار می‌کنند و در صنایع مختلف کاربرد دارند. سنسور فشار سیلیکون دیفیوز به مقاومت در برابر کرنش متکی است و برای طیف گسترده‌ای از اندازه‌گیری فشار مناسب است. سنسور خازنی از تغییرات ظرفیت خازنی استفاده می‌کند و معمولا در سیستم‌های صنعتی و کنترل فرآیند استفاده می‌شود. سنسور سرامیکی پایداری بالا، مقاومت در برابر دما و قابلیت‌های تماس مستقیم با سیال را ارائه می‌دهد که آن‌را برای کاربردهای سخت مناسب می‌کند.
