nsc1.pvd·۲ سال پیشمگنترون اسپاترینگ تعادلی یا غیرتعادلی؟با اینکه تفاوتها در طراحی مگنترون کاتدهای غیرتعادلی و تعادلی ناچیز است اما تفاوت کارآیی آنها قابل توجه است.
