ارتقای سیستم چرخاننده سیاره‌ای نمونه

چرخاننده سیاره ای زیرلایه
چرخاننده سیاره ای زیرلایه


یکی از ویژگی‌های یک لایه نازک مناسب، میزان یکنواختی لایه ایجاد شده است. چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی از مؤثرترین راهکار‌ها برای افزایش میزان یکنواختی لایه‌های نازک ایجاد شده در روش رسوب دهی فیزیکی بخار(Physical Vapor Deposition(PVD)) می‌باشد.

میزان اثربخشی چرخش زیرلایه در بهبود یکنواختی لایه نازک ایجاد شده، به شکل هندسی زیرلایه و نحوه چرخش آن حین فرایند لایه نشانی بستگی دارد. مثلا در مورد زیرلایه‌هایی با شکل هندسی مسطح(مثل دیسک)، چرخش حول محور عمود بر سطح زیرلایه کافی است تا لایه یکنواختی بر روی آن ایجاد شود. اما برای زیرلایه‌هایی با شکل هندسی پیچیده‌تر که دارای سطوح ناهمسان از نظر ارتفاع می‌باشند، نیاز است تا چرخش در سایر محورها نیز صورت پذیرد تا تمام زوایای پنهان زیرلایه پوشش داده شوند و ناحیه‌ای موجب سایه اندازی روی ناحیه دیگر نشود. به این نوع چرخش، حرکت سیاره‌ای می‌گویند.

حرکت سیاره‌ای(در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند به عنوان مثال وقتی قرار است یک سنگ متخلخل با میکروسکوپ الکترونی مشاهده شود باید درون حفره‌ها نیز با یک لایه نازک طلا پوشش داده شود و این امر با استفاده از چرخاننده نمونه سیاره‌ای امکان پذیر خواهد بود.

اکثر مدل‌های دستگاه‌های لایه نشانی ساخت شرکت پوشش های نانوساختار مثل DSR1، DCR، DST1-170 و DCT، که همگی به عنوان SEM coater شناخته می‌شوند مجهز به چرخاننده سیاره‌ای می‌باشند. به تازگی محققان و کارشناسان این شرکت اقدام به ارتقای سیستم چرخاننده سیاره‌ای نمونه محصولات خود نموده‌اند. چرخش روان‌تر، استحکام و طول عمر بیشتر و نصب راحت‌تر، از ویژگی‌های این سیستم جدید چرخاننده سیاره‌ای نمونه می‌باشد.