به منظور کاهش ذرات هوا در محفظه لایه‌نشانی و تشکیل لایه‌ای تمیز، لایه‌های نازک در یک محفظه خلاء با فشاری بسیار کمتر از فشار هوای اتمسفر تهیه می‌شوند. در لایه‌نشانی به روش اسپاترینگ، آرگون خالص نیز وارد محفظه می‌شود تا علاوه بر کمک به خروج بیشتر هوای باقیمانده در محفظه، نرخ لایه‌نشانی را نیز افزایش دهد. برای مطالعه بیشتر به سایت ما مراجعه نمایید.
