تفاوت مگنترون کاتدهای تعادلی و غیرتعادلی

مگنترون کاتدهای تعادلی و غیرتعادلی در سیستم‌های اسپاترینگ دارای مزایا و معایبی هستند.
خطوط میدان در میدان‌های مغناطیسی تعادلی بر روی کاتد بسته شده و حرکت ذرات باردار پلاسما (الکترون‌ها و یون‌ها) به سطح هدف محدود می‌شود. این نوع کاتدها بیشتر در تهیه لایه‌های با اصطکاک کم کاربرد دارند. در میدان‌های مغناطیسی غیرتعادلی خطوط میدان به سمت زیرلایه گسترده می‌شوند و ذرات باردار زیرلایه را بمباران می‌کنند.