تبخیر حرارتی روشی ساده برای ایجاد یک لایه نازک توسط لایه‌نشانی بخار فیزیکی است. در این روش، با حرارت‌دهی گرمایی ماده هدف در محفظه خلاء بالا (فشار کمتر از Torr 10-۵)، فشار بخار ماده در سطح آن افزایش یافته و لایه‌ای نازک از ماده بر روی زیرلایه موجود در محفظه، تشکیل می‌شود. دستگاه‌های لایه‌نشان تبخیر حرارتی خلاء بالای شرکت پوشش‌های نانوساختار، مدل‌های DTE و DTT، قابلیت لایه‌نشانی لایه‌های نازک از مواد مختلف را دارا هستند.
