از روش‌های اصلاح سطح میتوان به ایجاد پوشش‌های با کیفیت به کمک تکنیک‌های لایه نشانی و همچنین روش‌های لیتوگرافی نوری و الکترونی اشاره کرد. تکنولوژی ساخت میکروسیستم‌ها در طیف گسترده‌ای از صنایع مانند پزشکی، مکانیک، اپتیک، دینامیک سیالات، میکروالکترونیک و بسیاری دیگر مورد استفاده قرار گرفته است.
شرکت پوشش‌های نانو ساختار، دستگاه‌های لایه نشانی DST3 ،DST3-T و DTT را برای آماده‌سازی این طیف از لایه‌های نازک توصیه می‌کند. در نتیجه، لایه نازک مقرون به صرفه و با کیفیت، برای فرآیند لیتوگرافی ایجاد می‌شود.
