اسپاترینگ پرتو یونی یکی از روشهای لایه نشانی بخار فیزیکی است که بالاترین دقت و کنترل روی لایهنشانی را در مقایسه با دیگر روشها نظیر تبخیر حرارتی، دی سی و آر اف مگنترون اسپاترینگ و لایه نشانی لیزر پالسی فراهم میکند.
