لایهنشانی یک لایه نازک از مواد واکنشپذیر روی یک زیرلایه باید تحت شرایط خلاء بالا انجام شود تا از آلودگی لایهها جلوگیری شود و پوششی با کیفیت بالا برای کاربردهای مختلف به دست آید.
برخی از مواد منبع لایهنشانی، در برابر تشکیل ترکیبات با سایر مواد بسیار مقاوم هستند. این عناصر شامل فلزات نجیب مانند طلا هستند. در مقابل، برخی دیگر از عناصر قابلیت ترکیب با عناصر محیط پیرامون خود را دارند و به محیط محفظه لایهنشانی بسیار حساس هستند.
