پلاسمای ایجاد شده از طریق تخلیه الکتریکی گاز موجود بین دو الکترود در یک محفظه خلاء، پلاسمای تخلیه الکتریکی تابان نامیده میشود. تخلیه الکتریکی تابان زمانی اتفاق میافتد که الکترونهای آزاد پلاسما با یونهای مثبت بازترکیب شده و فوتون تابش میکنند. پلاسمای تخلیه الکتریکی تابان حاوی ذرات پرانرژی یونیزه گاز است و کاربردهای مختلفی مانند تمیز کردن یا پوششدهی یک سطح (مانند لایهنشانی اسپاترینگ) میتواند داشته باشد.