کندوپاش مگنترون یک تکنیک کلیدی است که فرآیند کندوپاش معمولی را با افزایش نرخ کندوپاش و لایهنشانی در فشارهای محفظه پایینتر، بهبود میبخشد. در تمام دستگاههای اسپاترینگ تک و چند کاتدی شرکت پوششهای نانوساختار، مانند DSR1، DST1 و DST3، به همراه پوششدهندههای چندکاره مانند DSCR و DSCT، از کاتدهای مگنترون برای لایهنشانی کندوپاشی با کیفیت بالا برای تولید سریع لایه نازک، استفاده میشود.
