nsc1.pvd·۴ سال پیشاستفاده از پلاسما برای تمیز کردن سطح زیر لایه ها(Plasma Cleaning)تمیز کردن سطح نمونه ها با استفاده از پلاسما در محیطی با فشار کم(خلاء)، روشی اقتصادی برای تمیز کردن نمونه ها به صورت یکنواخت و ایمن است.
