nsc1.pvd·۴ سال پیشارتقای سیستم چرخاننده سیارهای نمونهچرخاننده سیاره ای زیرلایهیکی از ویژگیهای یک لایه نازک مناسب، میزان یکنواختی لایه ایجاد شده است. چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی از مؤثرتر…